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澳门·新葡萄新京6663半导体废气怎么处理才能有效达标排放?

作者:小编 时间:2024-05-17 04:16:31 点击:

  澳门·新葡萄新京6663半导体废气怎么处理才能有效达标排放?随着信息化时代的到来,半导体行业也在迅速发展,半导体给社会带来的经济效益及就业率有目共睹,但随之而来的环境问题也不容忽视。

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  半导体行业废气主要来自于半导体设备澳门·新葡萄新京6663、电子元器件、电子组件、平板显示器、整机机壳的表面涂层工艺使用的溶剂型涂料、清洗工艺使用的有机脱脂剂、脱水剂,感光成像工艺中的光刻胶稀释剂、显影剂、脱胶剂、液态阻焊膜剂、去膜剂等使用有机溶剂的工艺环节。

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  半导体行业产生的废气具有风量大、浓度低的特点。废气种类繁多,成分复杂,常见成分有苯、甲苯、丙酮、正丁醇、丙醇单甲醚、环己酮、正庚烷、甲基氢呋喃、三氯乙烯和氯仿等,通常分为酸碱废气澳门·新葡萄新京6663、有机废气和有毒气体,其中砷烷、磷烷等有毒废气具有极强的毒性和腐蚀性。如果不处理这些废气,不仅会对周围环境产生较大危害,还会严重影响工人健康,长时间接触这些气体,会对肺部和皮肤黏膜产生刺激作用澳门·新葡萄新京6663,从而导致呼吸道和皮肤疾病。

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  此外,针对半导体产线中不同工艺环节产生的废气,还需结合实际情况进行工艺优化和组合。例如,在PECVD工艺中,可采用不锈钢燃烧筒、硅烷燃烧洗涤塔和氨气洗涤塔等组合工艺,实现对硅烷和氨气的高效去除;在丝网印刷工艺中,可采用活性炭纤维吸附塔对有机废气进行净化处理。

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  随着环保意识的增强和法规的日益严格,国家对半导体废气治理的重视程度不断提高。一方面,加大了对废气治理技术研发的投入,推动废气治理技术的不断创新和升级;另一方面,制定了一系列严格的排放标准,要求半导体企业必须采取有效的治理措施,确保废气排放达标,为废气治理市场的健康发展提供了有力保障。

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